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发明名称 在离子植入机中提供成段的静电透镜的技术
摘要
申请公布号 TWI430337 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW095142242 申请日期 2006.11.15
申请人 瓦里安半导体设备公司 美国 发明人 瑞都凡诺　史费特那Ｂ. RADOVANOV, SVETLANA B. YU;雷诺　安东尼;贝福　詹姆士　史帝夫
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 美国
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