发明名称 氧化锡-氧化镁系溅镀靶及透明半导体膜
摘要
申请公布号 TWI429776 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW097145698 申请日期 2008.11.26
申请人 出光兴产股份有限公司 日本 发明人 井上一吉;岛根幸朗
分类号 C23C14/34;H01B1/02 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项
地址 日本