同步辐射红外显微镜的数值孔径匹配装置

摘要

本发明提供一种同步辐射红外显微镜的数值孔径匹配装置，包括：相对设置的两离轴抛物面镜，两者具有重合的焦点和重合的旋转对称轴，入射光束平行于旋转对称轴入射到第一离轴抛物面镜并依次经过第一和第二离轴抛物面镜反射得到出射光束；出射光束平移机构，其包括至少一个与第二离轴抛物面镜相对设置以改变出射光束方向的出射平面镜，以及用于安装出射平面镜的出射平移台；离轴抛物面镜平移机构或入射光束平移机构，离轴抛物面镜平移机构包括离轴抛物面镜平移台，入射光束平移机构包括至少一个入射平面镜及入射平移台，离轴抛物面镜平移台或入射平移台的运动方向垂直于旋转对称轴。本发明使得同步辐射红外光束尺寸连续可调，操作简单，节省人力工时。

主权项

一种同步辐射红外显微镜的数值孔径匹配装置，其特征在于，包括：相对设置的第一和第二离轴抛物面镜，两者具有重合的焦点和重合的旋转对称轴，入射光束平行于该旋转对称轴入射到第一离轴抛物面镜上并依次经过第一和第二离轴抛物面镜反射得到出射光束；出射光束平移机构，其包括至少一个与第二离轴抛物面镜相对设置以改变出射光束方向的出射平面镜，以及用于安装出射平面镜的出射平移台；离轴抛物面镜平移机构，其包括用于安装第一和第二离轴抛物面镜的离轴抛物面镜平移台，离轴抛物面镜平移台的运动方向垂直于所述旋转对称轴，通过设置所述出射光束平移机构和离轴抛物面镜平移机构，使得同步辐射红外光束尺寸在一定范围内连续可调，并且出射位置不变。