用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪

摘要

本发明公开一种用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪，所述内表面沿空心圆柱周向且位于内侧或外侧，其聚光凸透镜位于激光器和准直凸透镜之间且聚光凸透镜的焦点与准直凸透镜的焦点重合；分束镜位于聚光凸透镜和准直凸透镜之间，用于将来自准直凸透镜的光线分为第一光束和第二光束；所述标准平晶位于准直凸透镜与分束镜相背的一侧，该标准平晶与准直凸透镜相对的表面为凸面，此标准平晶与凸面相背的表面为标准参考面；所述圆锥反射镜位于待检测所述空心圆柱内，且圆锥反射镜的旋转轴与空心圆柱与标准平晶各自的轴线重合。本发明实现了一次性获得全部立体空心圆柱内表面形貌信息，同时也大大提高了测试效率、精度和可靠性。

主权项

一种用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪，所述内表面（1）沿空心圆柱（2）周向且位于内侧，其特征在于：包括激光器（3）、聚光凸透镜（4）、分束镜（5）、作为物镜的准直凸透镜（6）、标准平晶（7）和圆锥反射镜（8），所述聚光凸透镜（4）位于激光器（3）和准直凸透镜（6）之间且聚光凸透镜（4）的焦点与准直凸透镜（6）的焦点重合；所述分束镜（5）位于聚光凸透镜（4）和准直凸透镜（6）之间，用于将来自准直凸透镜（6）的光线分为第一光束和第二光束；所述标准平晶（7）位于准直凸透镜（6）与分束镜（5）相背的一侧，该标准平晶（7）与准直凸透镜（6）相背的表面为标准平面（71）；所述圆锥反射镜（8）位于待检测所述空心圆柱（2）内，且圆锥反射镜（8）的旋转轴与空心圆柱（2）与标准平晶（7）各自的轴线重合，所述圆锥反射镜（8）的圆锥面（81）与所述空心圆柱（2）的内表面（1）面对面放置，此圆锥反射镜（8）沿轴线移动从而实现对空心圆柱（2）的内表面（1）扫描；干涉图样接收部件（9）位于所述分束镜（5）一侧，用于接收来自分束镜（5）的第二光束。