| 主权项 |
一种化学机械抛光垫，其包括:抛光层，其包括抛光表面和整体窗;所述整体窗在所述抛光层中成为一体;所述整体窗是固化剂与异氰酸酯封端的预聚物多元醇的聚氨酯反应产物;所述固化剂选自4,4’‑亚甲基‑二邻氯苯胺、4,4’‑亚甲基‑二‑(3‑氯‑2,6‑二乙基苯胺)；二甲硫基甲苯二胺；二对氨基苯甲酸‑1,3‑丙二醇酯；聚四氢呋喃二对氨基苯甲酸酯；聚四氢呋喃单对氨基苯甲酸酯；聚环氧丙烷二对氨基苯甲酸酯；聚环氧丙烷单对氨基苯甲酸酯；1,2‑二(2‑氨基苯硫基)乙烷；4,4’‑亚甲基‑二苯胺；二乙基甲苯二胺；5‑叔丁基‑2,4‑甲苯二胺；3‑叔丁基‑2,6‑甲苯二胺；5‑叔戊基‑2,4‑甲苯二胺；3‑叔戊基‑2,6‑甲苯二胺；氯代甲苯二胺，以及它们的混合物；所述异氰酸酯封端的预聚物多元醇是多元醇与多官能芳族异氰酸酯的反应产物；所述多元醇选自聚四亚甲基醚二醇；聚亚丙基醚二醇；酯基多元醇；它们的共聚物和混合物；所述多官能芳族异氰酸酯选自2,4‑甲苯二异氰酸酯、2,6‑甲苯二异氰酸酯、4,4'‑二苯基甲烷二异氰酸酯、萘‑1,5‑二异氰酸酯、联甲苯胺二异氰酸酯、对苯二异氰酸酯、苯二亚甲基二异氰酸酯和它们的混合物；所述固化剂包含固化剂胺部分，该固化剂胺部分能够与所述异氰酸酯封端的预聚物多元醇中所含的未反应的NCO部分反应，形成所述整体窗;以胺部分与未反应的NCO部分的化学计量比为1:1至1:1.25的用量提供所述固化剂与所述异氰酸酯封端的预聚物多元醇;所述整体窗的孔隙率<0.1体积%;所述整体窗的压缩形变为5‑25%;其中，所述抛光表面适合用来对选自磁性基片、光学基片和半导体基 片的基片进行抛光。 |
