一种大气压低功率脉冲微波冷等离子体射流发生器

摘要

本发明提供一种大气压低功率脉冲微波冷等离子体射流发生器。它由脉冲调制微波源、微波信号源、可调功率放大器、双定向耦合器、放电器组成，微波信号和脉冲调制信号通过同轴电缆与可调功率放大器连接，可调功率放大器、双定向耦合器、放电器依次通过同轴射频线连接，其中：放电器包含石英玻璃管，其玻璃管上包裹着一层铜膜，并且把玻璃管的一端封着，铜膜封口上均匀分布着直径为0.3mm的8个小孔，其配气系统所供的氩气通过小孔流入玻璃管中，玻璃管中间有一个离管口3mm的直径为1mm的钢针，离封口处有一个开口，其接SMA头。本发明可以产生低温的、高电子浓度的和活性高的等离子体，并且本发明其易集成化、体积小、可便携；操作安全；易实现、价格较便宜。

主权项

一种大气压低功率脉冲微波冷等离子体射流发生器，其特征在于，它由脉冲调制微波源、微波信号源、可调功率放大器、双定向耦合器、放电器组成，微波信号和脉冲调制信号通过同轴电缆与可调功率放大器连接，可调功率放大器通过同轴射频线与双定向耦合器连接，双定向耦合器通过同轴射频线与放电器连接，其中：放电器包含石英玻璃管，其玻璃管上包裹着一层铜膜，并且把玻璃管的一端封着，铜膜封口上均匀分布着直径为0.3mm的8个小孔，其配气系统所供的氩气通过小孔流入玻璃管中，玻璃管中间有一个离管口3mm的直径为1mm的钢针，离封口处有一个开口，其接SMA头。