鋶盐、光阻材料及图案形成方法

摘要

本发明系提供一种下述通式(1)所示之鋶盐；;(1);(式中，R1表示氢原子或是可包含杂原子之碳数1～30之直链状、分支状或环状的1价烃基；R2表示氢原子或三氟甲基；Rf表示至少一个以上的氢原子被氟原子取代之碳数1～4的烷基。);本发明的鋶盐，在阳离子部分具有氟烷氧链，且将本发明的鋶盐用于光阻材料时，对于浸液水之溶离亦少，而且图案相依性(暗亮差)少，作为化学放大光阻材料的光酸产生剂非常有用。