晶体定向生长热均衡装置

摘要

晶体定向生长热均衡装置，属于熔炼、冶炼行业及单晶硅、多晶硅、类单晶(准单晶)铸锭技术；蓝宝石等晶体生长环境所需的温度控制等领域。采用单独的散热机构安置在坩埚支撑平台底部，只针对坩埚底部进行定向散热；通过该单独散热机构上的四方向运动隔板的同步运动，向四方向开合，调整隔板开合的速度及隔板开合尺寸大小来实现散热及对温度的精确控制。散热过程中，除该单独的散热机构外，不调整其他任何机构及相关位置，减少了其他运动带来的能力损耗及杂质挥发，因此达到减少晶体杂质侵入和降低能耗的作用。

主权项

晶体定向生长热均衡装置，其特征是：采用单独的散热机构安置在坩埚支撑平台底部，通过该单独散热机构上的四块运动隔板(3)、(5)的同步运动，向四面开合，调整四块运动隔板(3)、(5)开合的速度及开合尺寸大小来实现散热及对温度的精确控制。