一种超声波雾化-微波热解制备薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种超声波雾化-微波热解制备薄膜的方法，属于无机材料技术领域。首先将一种或两种可溶性金属盐与水混合均匀配置成涂膜液，然后将涂膜液经超声波雾化成小细雾滴；将上述步骤得到的小细雾滴在载气的带动下，经导管和雾化喷嘴引入到微波环境中，小细雾滴经雾化喷嘴喷溅到已被微波加热到300～1000℃的衬底上，雾滴迅速干燥和发生热解并聚集在衬底上制备得到薄膜。该方法工艺路线简单，反应过程快速平稳，产生的废气经吸收处理后，清洁无污染，生产效率高，产品质量好。

主权项

一种超声波雾化‑微波热解制备薄膜的方法，其特征在于具体步骤如下：（1）首先将一种或两种可溶性金属盐与水混合均匀配置成0.001～1.5mol/L的涂膜液，然后将涂膜液经超声波雾化成小细雾滴；（2）步骤（1）得到的小细雾滴在载气的带动下，经导管和雾化喷嘴引入到微波环境中，小细雾滴经雾化喷嘴喷溅到已被微波加热到300～1000℃的衬底上，雾滴迅速干燥和发生热解并聚集在衬底上制备得到薄膜。