一种激光辅助制备纳米颗粒的方法和设备

摘要

本发明公开了一种激光辅助制备纳米颗粒的方法及相应设备，属于纳米材料制备领域。该方法将气态先驱物通入等离子体发生装置，经等离子体发生装置活化后进入反应腔；激光发生装置发出的激光束，经反应腔壁上的透镜汇聚后也进入到反应腔，在反应腔内加热活性气态先驱物，使之裂解，得到活性纳米颗粒，纳米颗粒通过收集器收集。本发明制备纳米颗粒的方法和设备，大大降低了生产成本，且设备简单，工艺稳定性好，制备的纳米颗粒纯度较高、稳定性好、形貌粒径均匀，产品质量可靠性高，同时可以得到较高的纳米颗粒产率。

主权项

一种激光辅助制备纳米颗粒的方法，其特征在于，将气态先驱物通入等离子体发生装置，经等离子体发生装置活化后进入反应腔；激光发生装置发出的激光束，经反应腔壁上的透镜汇聚后也进入到反应腔；在反应腔内激光加热活性气态先驱物，使之裂解，产生纳米颗粒，纳米颗粒通过收集器收集。