镍靶材及镍靶材组件的制造方法

摘要

本发明提供一种镍靶材及镍靶材组件的制造方法，镍靶材的制作方法，包括：提供镍锭；对镍锭热锻，形成第一镍靶材坯料；对第一镍靶材坯料第一热处理，形成第二镍靶材坯料，第一热处理温度为450℃～550℃，保温1小时～2小时；第一热处理后，对第二镍靶材坯料热轧，形成第三镍靶材坯料；对第三镍靶材坯料第二热处理，形成第四镍靶材坯料，所述第一热处理温度为300℃～500℃，保温1小时～2小时；第二热处理后，对第四镍靶材坯料冷轧，形成第五镍靶材坯料；对第五镍靶材坯料进行第三热处理，形成镍靶材，第三热处理温度为200℃～300℃，保温1小时～2小时。采用本发明技术方案制造的镍靶材内部组织比较均匀，磁性能好。

主权项

一种镍靶材的制造方法，其特征在于，包括：提供镍锭；对所述镍锭进行热锻，形成第一镍靶材坯料；对所述第一镍靶材坯料进行第一热处理，形成第二镍靶材坯料，所述第一热处理的温度为450℃～550℃，保温时间为1小时～2小时；第一热处理后，对所述第二镍靶材坯料进行热轧，形成第三镍靶材坯料；对所述第三镍靶材坯料进行第二热处理，形成第四镍靶材坯料，所述第二热处理的温度为300℃～500℃，保温时间为1小时～2小时；第二热处理后，对所述第四镍靶材坯料进行冷轧，形成第五镍靶材坯料；对所述第五镍靶材坯料进行第三热处理，形成镍靶材，所述第三热处理的温度为200℃～300℃，保温时间为1小时～2小时。