基于光纤耦合器的小型化单光栅干涉测量系统及测量方法

摘要

一种基于光纤耦合器的小型化单光栅干涉测量系统及测量方法，该系统包括激光器、用于产生衍射的光栅、光纤耦合器和光电探测器，所述激光器输出的光经光纤传输并入射到光栅上形成各级衍射光；一组对称级次的衍射光通过耦合后进入光纤耦合器；该组衍射光在光纤耦合器中发生干涉后经光纤耦合器输出光干涉场信号，在光纤耦合器输出端设有记录输出光信号的光电探测器，后续电路对接收信号进行处理后得到光栅在某一方向的位移量。该方法为基于上述测量系统所进行的测量方法。本发明具有小型化、一体化、大量程、高精度等优点。

主权项

一种基于光纤耦合器的小型化单光栅干涉测量系统，其特征在于，包括激光器、用于产生衍射的光栅、光纤耦合器和光电探测器，所述激光器输出的光经光纤传输并入射到光栅上形成各级衍射光；一组对称级次的衍射光通过耦合后进入光纤耦合器；该组衍射光在光纤耦合器中发生干涉后经光纤耦合器输出光干涉场信号，在光纤耦合器输出端设有记录输出光信号的光电探测器，并对接收信号进行处理后得到光栅在某一方向的位移量。