湿式清洁用于电浆处理设备之电极总成的方法与装置

摘要

本发明提供清洁电极总成之衬背板或包含一衬背板及一电极板之电极总成之方法。该等方法可用以清洁由各种材料制成之衬背板及电极板，诸如，矽电极板及石墨及铝衬背板。该等衬背板及该等电极总成可为新的、用过的或经整修的。亦提供一种可用于该等清洁方法中之冲洗夹具。