Bondpad zum Thermokompressionsbonden, Verfahren zum Herstellen eines Bondpads und Bauelement

摘要

Die Erfindung betrifft ein Bondpad (100) zum Thermokompressionsbonden (504) eines Trägermaterials (106) mit einem weiteren Trägermaterial, wobei das Bondpad (100) eine Basisschicht (102) und eine Deckschicht (104) aufweist. Die Basisschicht (102) aus Metall ist deformierbar und mit dem Trägermaterial (106) verbunden, wobei das Metall nickelbasiert ist. Die Deckschicht (104) ist metallisch und unmittelbar mit der Basisschicht (102) verbunden. Die Deckschicht (104) ist zumindest auf einer von dem Trägermaterial (106) abgewandten Seite der Basisschicht (102) angeordnet. Die Deckschicht (104) weist gegenüber der Basisschicht (102) eine geringere Schichtdicke auf, wobei die Deckschicht (104) insbesondere oxidationsbeständiger ist, als die Basisschicht (102).