Ortsfrequenzfiltervorrichtung und Verfahren zur Ortsfrequenzfilterung von Laserstrahlen

摘要

Ortsfrequenzfiltervorrichtung zur Ortsfrequenzfilterung von Laserstrahlung mit einem für die Laserstrahlung (2) zumindest teilweise transparenten oder durchstrahlbaren Transmissionskörper (4) und einem an dem Transmissionskörper (4) angrenzend angeordneten oder in den Transmissionskörper (4) integrierten, eine Lochblende oder eine Apertur (7) aufweisenden Element, wobei dieses Element in einem die Lochblende oder Apertur (7) umgebenden Bereich eine diesen Bereich abdeckende diffraktive Ablenkstruktur (6) in Form eines ringförmigen Gitters oder refraktive Ablenkstruktur (5) in Form eines ringförmigen Prismas aufweist und wobei dieses Element samt seiner Ablenkstruktur (5, 6) ausgebildet ist, um vorbestimmte Strahlanteile abzulenken, anstatt sie zu absorbieren, indem die Ablenkstruktur (5, 6) räumlich so ausgebildet ist und so angeordnet ist, dass für durch den Transmissionskörper (4) transmittierte Laserstrahlung mit endlichem Strahlquerschnitt ein zentraler Anteil der Laserstrahlung, also ein im Strahlquerschnitt gesehen um den Zentralstrahl zentrierter, innenliegender Anteil der Laserstrahlung durch die Ablenkvorrichtung in der Strahlrichtung nicht beeinflussbar ist, also durch die Lochblende oder Apertur (7) durchstrahlbar ist und dass der dem zentralen Anteil komplementäre, außenliegende Anteil der Laserstrahlung durch die Ablenkstruktur in der Strahlrichtung beeinflussbar und in Richtung vom Zentralstrahl weg um einen Ablenkwinkel &thetas;p ablenkbar ist, der um mindestens das 1.8-fache größer ist als die Divergenz Oder Laserstrahlung.