提高产品钝化层膜厚量测数值可信度的方法

摘要

本发明提供了一种提高产品钝化层膜厚量测数值可信度的方法，包括：：采用钝化层膜的量测薄膜堆积模型，并通过椭偏仪方法来量测钝化层膜厚量，其中钝化层膜的量测薄膜堆积模型包括从下至上依次直接堆叠的Al层、TiAl3层、TiN层以及氧化物层。椭偏仪方法包括步骤：利用光源发出单色光，随后使单色光经过起偏器产生具有特定光谱的椭偏光，随后将椭偏光入射至产品钝化层表面，此后利用旋转分析仪收集从钝化层表面反射的反射光，此后使反射光进入光谱探测仪进行光谱分析以获取反射光光谱；最后根据量测薄膜堆积模型通过计算椭偏光的特定光谱以及反射光光谱来计算产品钝化层的厚度。

主权项

一种提高产品钝化层膜厚量测数值可信度的方法，其特征在于包括：采用钝化层膜的量测薄膜堆积模型，并通过椭偏仪方法来量测钝化层膜厚量，其中钝化层膜的量测薄膜堆积模型包括从下至上依次直接堆叠的Al层、TiAl3层、TiN层以及氧化物层。