多独立靶材制作锆基金属玻璃镀膜的方法及其产品

摘要

一种多独立靶材制作锆基金属玻璃镀膜的方法，包含先于镀膜设备中准备间隔设置的主靶材，及复数副靶材，其中，主靶材是Zr所构成，复数副靶材分别是选自Al、Ni、Cu、Ti、V、Mg，及此等之组合所构成，再于通入Ar(g)、He(g)、N2(g)和C2H2(g)并控制压力在1.0×10-2Torr~1.0×10-3Torr的高真空腔压下，控制主靶材的靶电流是1安培~5安培，该些复数副靶材的靶电流分别不为0且不大于3安培而激发至该基材上形成锆基金属玻璃镀膜。本发明还提供具有锆基金属玻璃镀膜的复合材料，适用于燃料电池、医疗用具，及3C产品壳件。