基板输送装置及基板输送装置中的异物检测方法

摘要

本发明提供一种基板输送装置及基板输送装置中的异物检测方法，能够抑制由基板端部支承部件引起的检测传感器的误检测。使可动基体部（31a）向背离固定基体部（31b）的方向移动并在待机位置［T］进行待机，并且使各传送带支承部件（28）分别移动到第二位置［P2］。从该状态开始可动基体部（31a）的横向动作，并且从投影器（32a）向受光器（32b）投射检查光（r）并执行异物检测动作。由此，由于检查光（r）通过与传送带支承部件（28a）位于第一位置［P1］的情况相比更远离基板端部支承部件（29a）的位置，故而即使在基板端部支承部件（29a）上产生翘曲变形的情况下，也能够抑制将其误检测为在传送带支承部件（28a）的移动路径上存在的异物的情况。

主权项

一种基板输送装置，其通过一对输送传送带从下方支承基板的宽度方向的两端部而将所述基板输送到规定的作业位置，其特征在于，具备：一对传送带支承部件，其支承所述一对输送传送带；一对基体部，其分别保持所述一对传送带支承部件使其在所述一对传送带支承部件彼此接近的第一位置与所述一对传送带支承部件彼此远离的第二位置之间自如地移动；一对夹持部件，其相对于所述一对基体部在与所述一对输送传送带对基板输送的输送方向垂直的方向自如移动地设置，通过使所述一对传送带支承部件均位于所述第一位置，对输送到所述规定的作业位置的基板从该基板的宽度方向进行夹持；基板中央部支承部件，其对被所述一对夹持部件夹持的状态的基板的下面中央部进行支承；一对基板端部支承部件，其通过所述一对传送带支承部件沿上下方向移动自如地被支承；传送带支承部件移动机构，其在基板被所述一对夹持支承部件夹持的状态下，通过使所述一对传送带支承部件分别从所述第一位置向所述第二位置移动，解除所述一对输送传送带对基板的输送支承状态，使所述一对基板端部支承部件位于基板的宽度方向的两端部的下方；间隔调整机构，其在开始所述一对输送传送带对基板的输送之前，在使所述一对基体部中的至少一方向从所述基板中央部支承部件离开的方向移动之后，通过使该基体部向接近所述基板中央部支承部件的方向即横宽接近方向移动，以使所述一对输送传送带的间隔成为对应于基板的宽度方向的尺寸的间隔的方式进行调整；异物检测传感器，其固定设于通过所述间隔调整机构而相对于所述基板中央部支承部件远离及接近的可动侧的基体部，在通过所述间隔调整机构使所述可动侧的基体部向所述横宽接近方向移动时，在与所述可动侧的基体部一同移动的所述基板端部支承部件的一侧即设有所述基板中央部支承部件侧的区域，将检查光向基板输送方向投射，通过检测该检查光的遮 光状态，进行在所述可动侧的基体部的行进方向存在的异物的检测，在通过所述间隔调整机构使所述可动侧的基体部向所述横宽接近方向移动时，通过所述传送带支承部件移动机构而使与所述可动侧的基体部一同移动的传送带支承部件位于所述第二位置。