一种抗高过载的加速度计

摘要

本发明涉及一种抗高过载的加速度计，包括连接于玻璃衬底上的硅基体（1），硅基体中设有悬臂梁（2）及相连的质量块（3），其特征在于：在质量块的两侧硅基体中对称设有弹性梁（6），弹性梁（6）与硅基体间设有缓冲间隙（4）。本发明与现有的加速度计抗高过载结构相比具有如下优点：（1）本发明有效的将弹性碰撞面与缓冲间隙相结合，使得加速度计在高过载情况下，可动结构不易断裂，实现了器件的高可靠性。（2）本发明结构简单，采用单晶硅片材料，提高了加速度计产品的一致性和可靠性；加工工艺比较简单，全部利用公知的MEMS工艺技术加工，适合大批量生产。

主权项

一种抗高过载的加速度计，包括连接于玻璃衬底（5）上的硅基体（1），硅基体（1）中的空腔中设有悬臂梁（2）及相连的质量块（3），硅基体（1）上面还设有盖帽（8），其特征在于：在质量块（3）的两侧硅基体（1）中对称设有弹性梁（6），质量块（3）与弹性梁（6）之间有活动间隙，弹性梁（6）与硅基体间设有缓冲间隙（4）。