基于多能场耦合的复合式阳极键合系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于多能场耦合的复合式阳极键合系统及方法，该系统包括工作台，工作台包括平行设置的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极分别用于放置玻璃器件和硅器件；电源模块，两端分别与第一电极和第二电极电性连接；电磁感应加热装置，设置于第二电极下方，用于对放电预处理和阳极键合进行电磁强化；驱动装置，连接在第一电极上，用于驱动第一电极上下运动。本发明整体结构简单，易于集成；电磁感应加热、预处理放电和阳极键合三者一体化控制三者一体化控制，调控简单；整套复合键合工艺易于实现，参数易于调节，键合性能可控性好。

主权项

一种基于多能场耦合的复合式阳极键合系统，其特征在于，所述系统包括：工作台，工作台包括平行设置的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极分别用于放置玻璃器件和硅器件；电源模块，两端分别与第一电极和第二电极电性连接；电磁感应加热装置，设置于第二电极下方，用于对放电预处理和阳极键合进行电磁强化；驱动装置，连接在第一电极上，用于驱动第一电极上下运动。