薄膜太阳电池制造装置

摘要

本发明系一种薄膜太阳电池制造装置，包含：成膜室，其系收容基板；及电极单元，其系于该成膜室内，对于前述基板藉由CVD法而形成膜；且前述电极单元包含有：阳极及阴极；及侧板部，其系保持该等阳极及阴极，构成前述成膜室之壁部之一部分，进一步对于前述成膜室装拆自如。