一种硅片生产中用于取片的机械手

摘要

本实用新型公开了一种硅片生产中用于取片的机械手，包括机械臂、吸盘及二者的控制器，机械臂端部设置吸盘，控制器能够改变机械臂的位置并控制吸盘工作，还包括温度传感器，温度传感器设置在机械手上，并将检测的温度信号传递给控制器。硅片经过高温工艺冷却一段时间后，使用该机械手进行取片，取片时，温度传感器检测硅片的温度，并将其传递给控制器；控制器根据硅片的温度判断适不适合进行取片，经过判断，机械手进行取片操作的硅片，其温度均适宜取片，取片过程不容易造成碎片，并且吸盘也不会在硅片的氮化硅膜上留下印记。与现有技术相比，该机械手在取片过程中，既能够降低硅片的碎片率，又能够提高硅片表面的合格率。

主权项

一种硅片生产中用于取片的机械手，包括机械臂（1）、吸盘（11）及二者的控制器（2），所述机械臂（1）端部设置所述吸盘（11），所述控制器（2）能够改变所述机械臂（1）的位置并控制所述吸盘（11）工作，其特征在于，还包括温度传感器（3），所述温度传感器（3）设置在所述机械手上，并将检测的温度信号传递给所述控制器（2）。