发明名称 微机电系统以及其操作方法
摘要 一种微机电系统,包括:一微机械架构,用于产生一第一电信号;以及一类比数位转换器(ADC),耦接该微机械架构,其中该微机电系统不包括任何放大器位于该微机械架构与该类比数位转换器之间。
申请公布号 TWI423592 申请公布日期 2014.01.11
申请号 TW099130479 申请日期 2010.09.09
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 发明人 彭永州;黄文宏;林有为
分类号 H03M1/12 主分类号 H03M1/12
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号