发明名称 |
记忆胞及其制造方法以及记忆体结构 |
摘要 |
一种记忆胞,其包括基底、绝缘层、闸极、电荷储存结构、第一源极/汲极区、第二源极/汲极区与通道层。绝缘层配置于基底上。闸极配置于绝缘层上。电荷储存结构配置于绝缘层与闸极上。第一源极/汲极区配置于位于闸极的二侧的电荷储存结构上。第二源极/汲极区配置于位于闸极的顶部的电荷储存结构上。通道层配置于位于闸极的侧壁上的电荷储存结构上,且与第一源极/汲极区以及第二源极/汲极区电性连接。 |
申请公布号 |
TWI423398 |
申请公布日期 |
2014.01.11 |
申请号 |
TW098131578 |
申请日期 |
2009.09.18 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行路16号 |
发明人 |
黄竣祥;蔡文哲;欧天凡;程政宪 |
分类号 |
H01L21/8247;H01L27/115 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行路16号 |