发明名称 记忆胞及其制造方法以及记忆体结构
摘要 一种记忆胞,其包括基底、绝缘层、闸极、电荷储存结构、第一源极/汲极区、第二源极/汲极区与通道层。绝缘层配置于基底上。闸极配置于绝缘层上。电荷储存结构配置于绝缘层与闸极上。第一源极/汲极区配置于位于闸极的二侧的电荷储存结构上。第二源极/汲极区配置于位于闸极的顶部的电荷储存结构上。通道层配置于位于闸极的侧壁上的电荷储存结构上,且与第一源极/汲极区以及第二源极/汲极区电性连接。
申请公布号 TWI423398 申请公布日期 2014.01.11
申请号 TW098131578 申请日期 2009.09.18
申请人 旺宏电子股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行路16号 发明人 黄竣祥;蔡文哲;欧天凡;程政宪
分类号 H01L21/8247;H01L27/115 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行路16号