包含磁铁之微影装置、在微影装置中之磁铁之保护方法和器件制造方法

摘要

本发明揭示一种微影装置，该微影装置包括一包含于一保护外壳中之磁铁，该保护外壳经配置以保护该磁铁免于接触一含H2气体或含H原子气体。该外壳可进一步含有一集氢剂，诸如，一磁体表面改质气体或一非含氢气体。可提供一非含氢气体流动，或可经由该保护外壳之至少一部分而提供一非集氢剂气体流动。