发明名称 |
阵列基板的防静电结构 |
摘要 |
本发明提供一种阵列基板的防静电结构,包括:阵列基板的有效区(60)及围绕该有效区(60)的数根虚构线(26),该有效区(60)设有数根信号线(22)及分别与该数根信号线(22)电性连接的数根短路棒(24),所述虚构线(26)分别对应位于有效区(60)最外围的短路棒(24)相邻设置,所述虚构线(26)靠近短路棒(24)的一侧(28)呈锯齿形结构设置。本发明通过在每一根最外围的短路棒的旁边增加一根虚构线,该虚构线靠近短路棒的一侧呈锯齿形结构设置,如此,在阵列基板制造过程中,尤其是对绝缘保护层和有源层进行干法蚀刻时,可以很好地避免等离子体异常放电对短路棒处金属交叠走线造成的静电损伤,提高产品品质。 |
申请公布号 |
CN103500741A |
申请公布日期 |
2014.01.08 |
申请号 |
CN201310482126.2 |
申请日期 |
2013.10.15 |
申请人 |
深圳市华星光电技术有限公司 |
发明人 |
徐向阳;张伟闵;宋志扬;王亮 |
分类号 |
H01L23/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/60(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市德力知识产权代理事务所 44265 |
代理人 |
林才桂 |
主权项 |
一种阵列基板的防静电结构,其特征在于,包括:阵列基板的有效区(60)以及围绕该有效区(60)的数根虚构线(26),所述阵列基板的有效区(60)设有数根信号线(22)以及分别与该数根信号线(22)电性连接的数根短路棒(24),所述虚构线(26)分别对应位于有效区(60)最外围的短路棒(24)相邻设置,所述虚构线(26)靠近短路棒(24)的一侧(28)呈锯齿形结构设置。 |
地址 |
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号 |