防护罩的表面处理方法及防护罩

摘要

本发明涉及一种防护罩的表面处理方法，包括成型防护罩步骤，还包括用铝材料对防护罩表面进行熔射处理的步骤。本发明还涉及一种用于半导体金属等离子沉积的防护罩，该防护罩的表面均匀覆盖铝材料层。上述防护罩的表面处理方法和使用该方法处理后的防护罩，在防护罩表面熔射一层铝材，增强了防护罩的吸附能力，且因为铝能承受较大的温差变化，因此能大大降低防护罩表面的金属薄膜脱落至圆片上的几率，改善了产品的良率，提高了生产效率。

主权项

一种防护罩的表面处理方法，包括成型防护罩步骤，其特征在于，还包括用铝材料对防护罩表面进行熔射处理的步骤，所述熔射处理的步骤前还包括预喷砂的步骤；经过所述熔射处理步骤后，所述防护罩表面的粗糙度为120微米至150微米；在所述对防护罩进行熔射处理的步骤后还包括对防护罩进行喷砂处理的步骤；在所述对防护罩进行喷砂处理的步骤后还包括对防护罩进行清洗处理的步骤；所述铝材料的粒径小于200微米，铝材料纯度大于99.99％，表面处理完成后的所述防护罩的表面的粗糙度为40微米至70微米。