气体辅助的激光加工

摘要

本发明提供一种气体辅助的激光加工的系统。该系统包括：喷嘴，所述喷嘴将气体射流递送在工件的表面处；和激光源，所述激光源可以将激光束聚焦在工件的表面上。经由气体射流提供反应气体和载气的混合物。反应气体与材料反应并且帮助增强材料的蒸发速率，并且同时帮助降低可以获得增强的蒸发速率的温度。反应气体的使用还帮助减小材料上的残余应力，使在蒸发期间的材料流动最小化，减少再沉积材料，以及消除由于材料去除所形成的凹坑结构上的缘边。

主权项

一种方法，该方法包括：提供具有表面的工件；将气体射流喷射在所述表面的一部分上，所述气体射流包括反应气体；将激光束聚焦在所述表面的所述部分上长达预定的持续时间；将所述表面的所述部分加热到第一温度；和从所述表面的所述部分去除预定量的材料。