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发明名称 PORT STRUCTURE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100572910(B1) 申请公布日期 2006.04.24
申请号 KR20047012742 申请日期 2003.02.17
申请人 发明人
分类号 B65G49/00;H01L21/00;H01L21/677 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
主权项
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