发明名称 喷印半导体及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI421946 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW098142789 申请日期 2009.12.14
申请人 财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 发明人 杨宗桦;彭玉容;王怡凯;胡堂祥
分类号 H01L21/328 主分类号 H01L21/328
代理机构 代理人 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号