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经营范围
发明名称 微影装置及方法
摘要
申请公布号 TWI421644 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW098117538 申请日期 2009.05.26
申请人 ＡＳＭＬ荷兰公司 荷兰 发明人 简森　法兰西瑟斯　乔汉那斯　约瑟夫;连席尔　席贝;寇可　猷西;贝卡尔斯　麦塞尔;汤玛士　艾佛　亚当　乔翰纳;米兰达　马西欧　亚力山德　凯诺
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 荷兰
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