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发明名称 双面溅射蚀刻基板之系统与方法（一）
摘要
申请公布号 TWI421360 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW097147265 申请日期 2008.12.05
申请人 因特瓦克公司 美国 发明人 巴恩　麦克;布拉克　泰瑞
分类号 C23C14/34;H01L21/3065 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人 徐宏昇 台北市中正区忠孝东路1段83号20楼之2
主权项
地址 美国
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