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经营范围
发明名称
离子束检查装置、离子束检查方法、半导体制造装置及离子源装置
摘要
申请公布号
TWI421900
申请公布日期
2014.01.01
申请号
TW097112858
申请日期
2008.04.09
申请人
精工电子有限公司 日本
发明人
伊藤雅彰
分类号
H01J37/317;H01J37/08
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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