| 发明名称 | 键合设备上的双路键合机构 | ||
| 摘要 | 本发明的键合设备上的双路键合机构，包括：基板；用于拾取并运载芯片的第一拾取机构，固定于所述基板上；用于拾取并运载芯片的第二拾取机构，固定于所述基板上；换位机构，固定于所述基板上，用于驱动所述第一拾取机构和所述第二拾取机构，使位于拾片位置或键合位置的第一拾取机构和位于键合位置或拾片位置的所述第二拾取机构交换位置。本发明的键合设备上的双路键合机构，不但结构紧凑、效率高，而且相对于两套键合系统成本低，节约电能、设备占用净化间面积小。 | ||
| 申请公布号 | CN103489800A | 申请公布日期 | 2014.01.01 |
| 申请号 | CN201210190763.8 | 申请日期 | 2012.06.11 |
| 申请人 | 北京中电科电子装备有限公司 | 发明人 | 周启舟;唐亮;郎平;郭东;李恺 |
| 分类号 | H01L21/60(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/60(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 许静;赵爱军 |
| 主权项 | 一种键合设备上的双路键合机构，其特征在于，包括：基板；用于拾取并运载芯片的第一拾取机构，固定于所述基板上；用于拾取并运载芯片的第二拾取机构，固定于所述基板上；换位机构，固定于所述基板上，用于驱动所述第一拾取机构和所述第二拾取机构，使位于拾片位置或键合位置的第一拾取机构和位于键合位置或拾片位置的所述第二拾取机构交换位置。 | ||
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区西环南路18号A119室 | ||