一种利用激光在玻璃基体表面制备铌酸钾钠功能陶瓷薄膜的方法

摘要

一种利用激光在玻璃基体表面制备铌酸钾钠功能陶瓷薄膜的方法，属于电子功能陶瓷制备领域。选取原料，按Na0.5K0.5NbO3化学计量比称取、混合、球磨，采用传统的熔盐法在800℃下预烧两小时制备所需功能陶瓷粉末；然后把陶瓷粉末与PVA混合均匀平铺在玻璃基体表面，利用所选取激光器的控制软件绘制所需制备的功能陶瓷薄膜的形状和尺寸，选取脉冲激光以合适的工艺参数直接烧结玻璃基体上的粉体得到所需陶瓷薄膜。本发明首先提出并在玻璃基体上直接制备出铌酸钾钠压电陶瓷薄膜，并且操作简单、快捷、可控性强。

主权项

一种利用激光在玻璃基体表面制备铌酸钾钠功能陶瓷薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤： 1）按Na0.5K0.5NbO3中Na、K、Nb为0.5：0.5：1的摩尔化学计量比称取原料，把原料与无水乙醇倒入球磨罐中球磨，将所得的浆料烘干得到的混合粉体过筛后再压制成块体； 2）将步骤1）所得的块体按传统熔盐法在800℃下预烧两小时，所得的铌酸钾钠块体原料经过再次球磨、烘干、过筛得到铌酸钾钠粉体，将铌酸钾钠粉体加入PVA后均匀平铺在玻璃基体表面； 3）在激光器控制软件中绘制所需制备的薄膜形状，选取激光以扫描频率80kHz、脉宽10ns、调至焦点位置后直接扫描玻璃基体上的粉体，室温冷却后得到所需功能陶瓷薄膜； 步骤3）所使用的激光为连续激光或脉冲激光，激光器的功率和扫描速度至少达到玻璃基体上粉体的烧结功率。