石英晶体微量天平性能测试系统

摘要

本发明公开了一种石英晶体微量天平性能测试系统，包括真空抽气系统、复压系统、测量控制系统和真空室，其中，真空室内设置有冷屏，冷屏的底部与晶片试验装置和QCM探头试验装置相配合，以支撑晶片试验装置和天平探头试验装置，并负责提供两个装置到冷屏的热传导；真空室与真空抽气系统、复压系统真空连接，真空抽气系统为真空室建立试验所需的真空环境；试验装置电连接有测量控制系统以进行温度和频率的测量。本测试系统提供了一个清洁无油的真空环境，保证QCM不会发生由于污染而导致的频率改变；能够进行QCM及其关键部件-晶片的多项性能测试，并能够对已经应用的天平进行高温老练，提高可靠性。

主权项

石英晶体微量天平性能测试系统，包括真空抽气系统、复压系统、测量控制系统和真空室，其中，真空室内设置有冷屏，冷屏的底部与晶片试验装置和QCM探头试验装置相配合，冷屏和真空室外的与冷屏管路连接的液氮储罐构成低温系统，建立试验所需低温环境，同时提供晶片试验装置和QCM探头试验装置的机械安装接口，以支撑晶片试验装置和QCM探头试验装置，并负责提供两个装置到冷屏的热传导；真空室与真空抽气系统、复压系统真空连接，真空抽气系统为真空室建立试验所需的真空环境；试验装置电连接有测量控制系统以进行温度和频率的测量，测量控制系统由温度测量控制系统和频率测量系统组成，温度控制系统应为数字式，控温范围‑190～100℃，其中，冷屏为不锈钢的圆筒夹心式结构且冷屏外壁均匀缠绕加热带以将试验结束后冷屏吸附的水除去。