有源元件阵列基板、光电装置及其制造方法

摘要

一种有源元件阵列基板、光电装置及其制造方法，此有源元件阵列基板包括基板、多个半导体图案、栅极绝缘层、第一图案化导电层、介电层、多个透明电极、保护层以及第二图案化导电层。半导体图案配置于基板上。栅极绝缘层配置于基板上以覆盖住半导体图案。第一图案化导电层配置于栅极绝缘层上，且第一图案化导电层包括多条扫描线、多个位于各半导体图案上方并与扫描线连接的栅极，以及多个位于扫描线之间的共通导电电极。介电层配置于栅极绝缘层上以覆盖住第一图案化导电层。多个透明电极配置于介电层上。保护层配置于介电层的部分区域上并将透明电极暴露。本发明提供的有源元件阵列基板具有降低导线跨线区域的杂散电容以及较良好的储存电容值。

主权项

一种有源元件阵列基板，包括：基板；多个半导体图案，配置于所述基板上；栅极绝缘层，配置于所述基板上以覆盖住所述多个半导体图案；第一图案化导电层，配置于所述栅极绝缘层上，所述第一图案化导电层包括多条扫描线、多个位于各所述半导体图案上方并与所述多个扫描线连接的栅极、以及多个位于所述多个扫描线之间的共通导电电极；介电层，配置于所述栅极绝缘层上以覆盖住所述第一图案化导电层；多个透明电极，配置于所述介电层上；保护层，配置于所述介电层的部分区域上，并将所述多个透明电极暴露，所述栅极绝缘层、所述介电层与所述保护层具有多个接触窗以将所述多个半导体图案暴露；第二图案化导电层，配置于所述保护层上，其中所述第二图案化导电层包括多个位于所述多个接触窗内的接触导体、多个与部分接触导体电连接的数据线、以及多个分别与对应的透明电极电连接的反射电极，且所述多个共通导电电极的部分区域位于所述第二图案化导电层下方；以及多个材料图案层，配置于该第二图案化导电层的所述数据线的部分区域上与该保护层的部分区域上；其中，该第一图案化导电层的该共通导电电极位于该第二图案化导电层的所述数据线下方，且所述数据线覆盖部分该透明电极，其中该透明电极与该共通导电电极耦合成一电容器，而所述数据线与该共通导电电极间以及所述数据线与该透明电极间皆形成一另一电容器。