面向半导体制造设备的数据采集实现方法

摘要

本发明涉及一种面向半导体制造设备的数据采集实现方法，步骤为：分别在客户和设备服务端建立Web服务，Web通信中使用代理类；基于安全套接层协议的客户安全认证；自定义SOAPHeader数据格式；建立设备信息数据库；使用委托代理的方式处理设备中各种事件异常；创建数据采集计划的状态机，实现数据采集计划的行为转换；使用COM组件，完成设备端与设备控制系统的连接。本发明为半导体制造提供了通用设备数据采集方法，提高了半导体生产制造中生产者与工厂设备之间的数据采集能力。

主权项

面向半导体制造设备的数据采集实现方法，其特征在于包括以下步骤：1）在客户端和半导体制造的设备端建立Web服务，并使用代理类实现客户端与设备端的连接；2）客户端调用设备端的设备认证接口，客户端与设备端通过使用安全套接层协议进行客户安全认证，并创建SOAPHeader数据格式；3）客户端根据自身关注的设备的运行状态信息，以SOAPHeader数据格式定义并发送数据采集计划；4）客户端调用设备端提供的数据采集管理接口,根据数据采集计划状态机查询并控制数据采集计划；5）客户端激活数据采集计划，使用委托代理方式处理数据采集事件；6）设备端解析数据采集计划，查询内部数据库中的设备运行状态信息，编写数据采集报告；7）设备端根据采集间隔时间指令定时地调用客户端的数据采集计划客户接口，将设备端的运行状态信息以SOAPHeader数据格式发送到对应的客户端。