EXPOSURE SYSTEM AND DEVICE PRODUCTION METHOD

摘要

이 노광 장치 (EX) 는, 투영 광학계 (PL) 와 기판 (P) 사이를 액체 (30) 로 채운 상태에서, 투영 광학계 (PL) 와 액체 (30) 를 통해 패턴의 이미지를 기판 (P) 상에 투영하고, 기판 (P) 을 노광시킨다. 이 노광 장치 (EX) 는 액체 (30) 의 기화를 억제하는 기화 억제 유닛 (20) 을 구비하고 있다.