发明名称 |
一种低电压二极管 |
摘要 |
本实用新型涉及一种低电压二极管。该低电压二极管依次包括第一电极层;第一电极层上的硅衬底;硅衬底上第一导电类型的外延层;所述外延层中与第一导电类型相反的第二导电类型的高浓度掺杂区;所述外延层上具有暴露所述掺杂区的开口的绝缘层;位于所述掺杂区和部分绝缘层上的夹层保护层;位于所述夹层保护层上的第二电极层,其特征在于,所述夹层保护层和所述第二电极层具有完全相同的外边界。根据本实用新型制作的低电压二极管,不仅产品合格率得到显著提高,而且由于制作工艺简化,生产效能获得相应提升。 |
申请公布号 |
CN203367292U |
申请公布日期 |
2013.12.25 |
申请号 |
CN201320372459.5 |
申请日期 |
2013.06.26 |
申请人 |
北京燕东微电子有限公司 |
发明人 |
周源 |
分类号 |
H01L29/861(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/861(2006.01)I |
代理机构 |
北京正理专利代理有限公司 11257 |
代理人 |
张雪梅 |
主权项 |
一种低电压二极管,依次包括 第一电极层; 第一电极层上的硅衬底; 硅衬底上第一导电类型的外延层; 所述外延层中与第一导电类型相反的第二导电类型的高浓度掺杂区; 所述外延层上具有暴露所述掺杂区的开口的绝缘层; 位于所述掺杂区和部分绝缘层上的夹层保护层; 位于所述夹层保护层上的第二电极层, 其特征在于, 所述夹层保护层和所述第二电极层具有完全相同的外边界。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区东直门外西八间房万红西街2号北京燕东微电子有限公司 |