发明名称 一种低电压二极管
摘要 本实用新型涉及一种低电压二极管。该低电压二极管依次包括第一电极层;第一电极层上的硅衬底;硅衬底上第一导电类型的外延层;所述外延层中与第一导电类型相反的第二导电类型的高浓度掺杂区;所述外延层上具有暴露所述掺杂区的开口的绝缘层;位于所述掺杂区和部分绝缘层上的夹层保护层;位于所述夹层保护层上的第二电极层,其特征在于,所述夹层保护层和所述第二电极层具有完全相同的外边界。根据本实用新型制作的低电压二极管,不仅产品合格率得到显著提高,而且由于制作工艺简化,生产效能获得相应提升。
申请公布号 CN203367292U 申请公布日期 2013.12.25
申请号 CN201320372459.5 申请日期 2013.06.26
申请人 北京燕东微电子有限公司 发明人 周源
分类号 H01L29/861(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I 主分类号 H01L29/861(2006.01)I
代理机构 北京正理专利代理有限公司 11257 代理人 张雪梅
主权项 一种低电压二极管,依次包括 第一电极层; 第一电极层上的硅衬底; 硅衬底上第一导电类型的外延层; 所述外延层中与第一导电类型相反的第二导电类型的高浓度掺杂区; 所述外延层上具有暴露所述掺杂区的开口的绝缘层; 位于所述掺杂区和部分绝缘层上的夹层保护层; 位于所述夹层保护层上的第二电极层, 其特征在于, 所述夹层保护层和所述第二电极层具有完全相同的外边界。
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