MEMS加速度传感器用电性测试装置

摘要

本实用新型公开一种MEMS加速度传感器用电性测试装置，包括上夹板、下夹板和定位机构，上夹板的上表面和下表面分别开有上凹槽和下凹槽；上夹板的上凹槽与下凹槽之间依次开设有若干个由第一针孔和凹孔连通组成的“T”通孔；一弹性测试棒嵌入所述“T”通孔和通孔内，弹性测试棒的一端依次贯穿第一针孔、第二针孔并露出芯片槽，弹性测试棒的另一端贯穿通孔并露出；定位机构包括中心具有贯通孔的盖体和2个由杆棒和头部组成的栓体、此贯通孔内由上往下依次设置有钮盖、第二弹簧和用于压在MEMS传感芯片背面的“T”形顶杆。本实用新型电性测试装置可精确定位并自适应固定MEMS芯片，并可根据各自MEMS芯片特定相应调整弹性测试棒与MEMS芯片引脚的接触压力。

主权项

一种MEMS加速度传感器用电性测试装置，其特征在于：包括上夹板（1）、下夹板（2）和定位机构（3），所述上夹板（1）的上表面和下表面分别开有上凹槽（4）和下凹槽（5），上夹板（1）位于上凹槽（4）两侧分别设有左弧形条孔（6）、右弧形条孔（7），左弧形条孔（6）一端开有安装通孔（81），右弧形条孔（7）另一端开有另一安装通孔（82）；所述上夹板（1）的上凹槽（4）与下凹槽（5）之间依次开设有若干个由第一针孔（91）和凹孔（92）连通组成的“T”通孔（9），所述下夹板（2）嵌入下凹槽（5）内并开有与“T”通孔（9）对应的通孔（10），一具有用于放置MEMS传感芯片的芯片槽（11）的托板（12）嵌入所述上凹槽（4）内，此芯片槽（11）内设有若干个第二针孔（111）；一弹性测试棒（13）嵌入所述“T”通孔（9）和通孔（10）内，弹性测试棒（13）的一端依次贯穿第一针孔（91）、第二针孔（111）并露出芯片槽（11），弹性测试棒（13）的另一端贯穿通孔（10）并露出；所述定位机构（3）包括中心具有贯通孔（141）的盖体（14）和2个由杆棒（151）和头部（152）组成的栓体（15）、此贯通孔（141）内由上往下依次设置有钮盖（16）、第二弹簧（17）和用于压在MEMS传感芯片背面的“T”形顶杆（18），所述2个栓体（15）的杆棒（151）分别安装于盖体（14）下端面上，栓体（15）的头部（152）用于嵌入所述左弧形条孔（6）、右弧形条孔（7）的安装通孔（81、82）内，从而实现杆棒（151）在左弧形条孔（6）、右弧形条孔（7）内移动。