一种制造气体敏感复合纳米薄膜的方法

摘要

本发明实施例公开了一种制造气体敏感复合纳米薄膜的方法，包括：制备氧化石墨烯分散溶液；用LB成膜法，用该氧化石墨烯分散溶液形成纳米薄膜，然后将所述纳米薄膜转移到气敏器件上；对纳米薄膜进行还原处理；然后在还原处理后的纳米薄膜上蒸镀导电聚合物层。根据本发明的方法制造的气体敏感纳米薄膜具有良好的气敏性能。

主权项

一种制造气体敏感复合纳米薄膜的方法，其特征在于，包括：将氧化石墨烯分散于有机溶剂中，形成氧化石墨烯分散溶液；将所述氧化石墨烯分散溶液滴加于LB膜槽中的超纯水表面，使氧化石墨烯分散铺展于所述超纯水表面；用滑障将铺展于所述超纯水表面的氧化石墨烯压缩到成膜模压，形成纳米薄膜，然后将所述纳米薄膜转移到气敏器件上；对所述纳米薄膜进行还原处理；在还原处理后的所述纳米薄膜上蒸镀导电聚合物层。