发明名称 一种维修检测装置
摘要 本实用新型实施例提供了一种维修检测装置,涉及显示面板生产技术领域,可在阵列基板维修过程中有效检测维修效果,从而减少不必要的损失;该维修检测装置包括光学设备、反应腔体、以及膜厚测试设备,膜厚测试设备用于测试维修薄膜的厚度。
申请公布号 CN203365844U 申请公布日期 2013.12.25
申请号 CN201320446405.9 申请日期 2013.07.25
申请人 北京京东方光电科技有限公司 发明人 曹宇;裴晓光;赵海生
分类号 G02F1/13(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I 主分类号 G02F1/13(2006.01)I
代理机构 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人 申健
主权项 一种维修检测装置,包括光学设备以及反应腔体,其特征在于,所述维修检测装置还包括膜厚测试设备,所述膜厚测试设备用于测试维修薄膜的厚度。
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