发明名称 | 一种维修检测装置 | ||
摘要 | 本实用新型实施例提供了一种维修检测装置,涉及显示面板生产技术领域,可在阵列基板维修过程中有效检测维修效果,从而减少不必要的损失;该维修检测装置包括光学设备、反应腔体、以及膜厚测试设备,膜厚测试设备用于测试维修薄膜的厚度。 | ||
申请公布号 | CN203365844U | 申请公布日期 | 2013.12.25 |
申请号 | CN201320446405.9 | 申请日期 | 2013.07.25 |
申请人 | 北京京东方光电科技有限公司 | 发明人 | 曹宇;裴晓光;赵海生 |
分类号 | G02F1/13(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/13(2006.01)I |
代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
主权项 | 一种维修检测装置,包括光学设备以及反应腔体,其特征在于,所述维修检测装置还包括膜厚测试设备,所述膜厚测试设备用于测试维修薄膜的厚度。 | ||
地址 | 100176 北京市大兴区北京市经济技术开发区西环中路8号 |