发明名称 Apparatus for testing optical thin layers in reflected light
摘要 Przyrzad do badan optycznych cienkich warstw w swietle odbitym posiada na osadzonej w podstawce (11) srubie poziomujacej (10) korpus (7), w którym umieszczone sa koncówki doplywu (8) i odplywu (9) gazu dochodzacego do przestrzeni pomiarowej (2), w której znajduje sie badana próbka (1), ograniczonej wewnetrznymi powierzchniami wziernika (3), korpusu (7) i uszczelka (6), przy czym wziernik (3) dociskany jest do korpusu (7) nakretka dociskowa (5), poprzez elastyczna podkladke (4). Wziernik (3) jest wykonany z materialu przepuszczajacego odpowiednie do badan dlugosci fal i ma ksztalt plytki plasko-równoleglej i lub soczewki. Gdy wziernik ma ksztalt soczewki w korpusie (7) od strony przestrzeni pomiarowej (2), umieszczony jest regulowany wspornik do umieszczania badanej próbki (1). Odleglosc L pomiedzy badana próbka (1) a wziernikiem jest regulowana, a kat (?) pomiedzy wiazka promieni padajacych i odbitych wychodzacych z badanej próbki (1) wynosi do 180°.
申请公布号 PL399478(A1) 申请公布日期 2013.12.23
申请号 PL20120399478 申请日期 2012.06.11
申请人 INSTYTUT TELE- I RADIOTECHNICZNY 发明人 CZERWOSZ ELZBIETA;WASZUK STANISLAW;WRONKA HALINA
分类号 G01N21/55 主分类号 G01N21/55
代理机构 代理人
主权项
地址