| 摘要 |
本发明提供一种能抑制加工痕之形成并且能形成更确实地实现被加工物分割之分割起点之雷射加工装置。该雷射加工装置具备发出脉冲雷射光束之光源、及载置有被加工物之载物台之雷射加工装置，进而具备冷却机构，其用以冷却载物台上载置之被加工物之载置面，于载物台上载置被加工物且由冷却机构冷却载置面之状态下，以脉冲雷射光束之各单位脉冲光之被照射区域于与载置面对向之被加工面上离散形成之方式使载物台移动，并将脉冲雷射光束照射于被加工物，藉此于被照射区域彼此之间依序产生被加工物之劈开或裂开，从而于被加工物上形成用于分割之起点。 |
