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发明名称
图案曝光方法及图案曝光设备
摘要
以一工件传送速度V,在工件传送方向F中传送一具有感光层之带状工件。一照明部分以一已与该工件传送速度V同步化的曝光周期T来照射一光罩。该光罩配置在离该带状工件一接近间距处。在该带状工件上曝光于该光罩上的遮罩图案,以在上面形成一周期性图案。
申请公布号
TWI420247
申请公布日期
2013.12.21
申请号
TW095132812
申请日期
2006.09.06
申请人
富士软片股份有限公司 日本
发明人
味埜敏;藤井武;高田伦久
分类号
G03F7/20;G03F9/00;G03F7/00;G02F1/1333
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项
地址
日本
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