MEMS传感器

摘要

本发明的目的在于提供一种与以往相比能够获得高灵敏度的可动传感器。该可动传感器具有在高度方向上位移且彼此质量不同的第一可动部(2)及第二可动部(3)、转动自如地连结的第一连杆部(10)及第二连杆部(11)。第一连杆部(10)借助第一支点连结弹簧(16)而与支承部(15)连结。第二连杆部(11)借助第二支点连结弹簧(20)而与支承部(19)连结。第一支点连结弹簧(16)位于比第二可动部的左端部(3c)靠左侧的位置，第二支点连结弹簧(20)位于比第二可动部的右端部(3d)靠右侧的位置。

主权项

一种可动传感器，其特征在于，所述可动传感器具有：被固定支承的支承部；在高度方向上位移并且彼此质量不同的第一可动部及第二可动部；转动自如地与所述支承部和各可动部连结的第一连杆部及第二连杆部；用于检测所述可动部的位移的检测部，所述第一可动部位于所述第二可动部的外侧，所述第一连杆部及所述第二连杆部形成为在左右方向(X)上延伸突出，所述第一连杆部延伸突出到比所述第二可动部的左端部靠左侧的位置且借助第一左连结弹簧而与所述第一可动部连结，并且在所述第二可动部的右端部侧借助第一右连结弹簧而与所述第二可动部连结，并且，在所述左右方向上借助第一支点连结弹簧而与位于所述第一左连结弹簧和所述第一右连结弹簧之间的所述支承部连结，所述第二连杆部延伸突出到比所述第二可动部的右端部靠右侧的位置且借助第二右连结弹簧而与所述第一可动部连结，并且在所述第二可动部的左端部侧借助第二左连结弹簧而与所述第二可动部连结，并且，在所述左右方向上借助第二支点连结弹簧而与位于所述第二右连结弹簧和所述第二左连结弹簧之间的所述支承部连结，当所述第一连杆部以所述第一支点连结弹簧为中心、所述第二连杆部以所述第二支点连结弹簧为中心而分别转动时，所述第二可动部和所述第一可动部在所述高度方向上向相反方向进行位移，所述第一支点连结弹簧位于在前后方向(Y)上与所述第二可动部的所述左端部一致的位置或者位于比所述左端部靠左侧的位置，所述第二支点连结弹簧位于在前后方向(Y)上与所述第二可动部的所述右端部一致的位置或者位于比所述右端部靠右侧的位置。