| 发明名称 | 线缆辅助支撑机构及线缆台 | ||
| 摘要 | 本发明涉及线缆辅助支撑机构及线缆台，该线缆辅助支撑机构用以支撑线缆设施的重力，包括第一固定件、第二固定件、第一连杆、第二连杆、第三连杆和连接部件；所述第二固定件套在所述排线上，该第二固定件夹紧所述排线；所述第一固定件套在所述排管上，该第一固定件夹紧所述排管；所述第三连杆的两端分别与所述第一固定件和第二固定件连接；所述第二连杆的一端与所述第二固定件连接，该第二连杆的另一端与所述第一连杆的一端连接；所述第一连杆的另一端与所述连接部件连接。本发明的线缆辅助支撑机构及线缆台能有效防止管线设施下垂，减小对工件台运动的影响，提高工件台运动定位精度及安全性。 | ||
| 申请公布号 | CN102537520B | 申请公布日期 | 2013.12.18 |
| 申请号 | CN201010592640.8 | 申请日期 | 2010.12.16 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 黄剑飞 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种线缆辅助支撑机构，用以支撑线缆设施的重力，所述线缆设施包括排线和排管，其特征在于，包括第一固定件、第二固定件、第一连杆、第二连杆、第三连杆和连接部件；所述第二固定件套在所述排线上，该第二固定件夹紧所述排线；所述第一固定件套在所述排管上，该第一固定件夹紧所述排管；所述第三连杆的两端分别与所述第一固定件和第二固定件连接；所述第二连杆的一端与所述第二固定件连接，该第二连杆的另一端与所述第一连杆的一端连接；所述第一连杆的另一端与所述连接部件连接；所述连接部件包括第一支撑机构滑块、第一支撑机构导轨和转接件；所述第一支撑机构导轨与所述转接件连接，该第一支撑机构导轨通过所述转接件固定位置；所述第一支撑机构滑块设置在所述第一支撑机构导轨上，该第一支撑机构滑块在所述第一支撑机构导轨上作无摩擦滑动；所述第一支撑机构滑块与所述第一连杆连接。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||