复合式光开关装置

摘要

本发明为一种复合式光开关装置，主要具有两大部分，包含以矽基微镜面阵列以及致动器阵列所组合而成。本发明结合微机电技术与传统精密机械技术的优点，故可达成低成本、高精准度、高制造良率、低驱动电压、光路自我对准、及易组装等优势。