| 发明名称 | 一种离轴椭球面镜的检测装置及其检测方法 | ||
| 摘要 | 一种离轴椭球面镜的检测装置，由斐索干涉仪及其标准球面镜、五维调整架、补偿小球及其三维调整架组成，标准球面镜是所述的斐索干涉仪的光束输出窗口，所述的五维调整架的顶面固定一基座，在该基座的一端固定所述的三维调整架，另一端供待测离轴椭球面镜摆放，所述的斐索干涉仪位于所述的基座摆放待测离轴椭球面镜的正上方；及其检测方法。本发明能够快速定位被测离轴椭球面，提高检测离轴椭球面的效率，从而提高了生产效率，降低了检测成本，实现了对各种离轴椭球面的检测，弥补了现有技术中的空白。 | ||
| 申请公布号 | CN103438831A | 申请公布日期 | 2013.12.11 |
| 申请号 | CN201310422011.4 | 申请日期 | 2013.09.16 |
| 申请人 | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 | 发明人 | 施丽敏;赵剑敏;顾亚平;魏向荣 |
| 分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 一种离轴椭球面镜的检测装置，其特征在于，该装置由斐索干涉仪（1）及其标准球面镜（2）、五维调整架（6）、补偿小球（4）及其三维调整架（5）组成，标准球面镜（2）是所述的斐索干涉仪（1）的光束输出窗口，所述的五维调整架（6）的顶面固定一基座，在该基座的一端固定所述的三维调整架（5），另一端供待测离轴椭球面镜（3）摆放，所述的斐索干涉仪（1）位于所述的基座摆放待测离轴椭球面镜的正上方。 | ||
| 地址 | 200433 上海市杨浦区国定路335号2号楼2401室 | ||